納米微晶板的制備工藝主要分為熱浸鍍和真空蒸發(fā)兩種,其中熱浸鍍是目前主要使用的制備工藝。該工藝包括板材清洗、表面粗化、鍍前處理、涂覆感光膠、曝光、顯影、蝕刻、鎳電鍍等步驟。
納米微晶板
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